국내 기업이 일본보다 우수한 불화수소 생산기술을 특허 출원했다.
불화수소는 일본 정부가 2019년 일본 정부의 통제 하에 한국에 대한 수출을 결정한 요소 중 하나입니다.
특허기술로 램테크놀로지는 불화수소 생산을 국산화했을 뿐만 아니라 제품 품질에서도 일본 기업을 능가했다.
회사는 고순도 불화수소 제조 기술 개발을 완료했다고 11월 22일 밝혔다. 기존의 생산 방식과 달리 이 회사의 기술은 액체와 기체 형태의 고순도 불화수소를 동시에 생산할 수 있습니다.
특히 램테크놀로지는 불화수소의 품질기준인 순도를 대폭 향상시켰다. 일반적으로 고순도 불화수소는 순도 99.9999%(6N) 이상의 가스를 말합니다. 램테크놀로지에서 개발한 불화수소의 순도는 99.999999999999999%(15N)입니다. 램테크놀로지 관계자는 “현재 고순도 불화수소 제품 중 이 순도가 가장 높다는 것은 우리나라의 고순도 불화수소 기술이 일본을 넘어섰다는 의미”라고 말했다.
초순수 불산은 반도체나 디스플레이를 식각하고 세척하는 데 사용됩니다. 산 순도가 높을수록 반도체의 수율과 너비가 높아집니다. 그러나 불화수소의 순도를 높이면 생산 비용이 증가합니다.
